1. 真空室腔體

外形

上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套，真空室內(nèi)部尺寸 D400*480mm，前后雙開門，后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配 DN100 視窗 1 套；

底部

金屬源接口 2 套，有機源接口 4 套， 復(fù)合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套；

頂部

樣品臺接口 1 套，電動擋板接口 1 套，高真空氣動擋板閥接口 1 套

左側(cè)

超高真空氣動擋板閥接口 1 套

2. 金屬/有機源系統(tǒng)

金屬蒸發(fā)源

金屬蒸發(fā)源 2 套:水冷銅電極 2 組，兼容蒸發(fā)舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，配氣動擋板，1KW 直流恒流電源 1 臺（數(shù)字顯示），電流調(diào)整精度 1A（微調(diào)），功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍；

有機蒸發(fā)源 4 套

有機蒸發(fā)源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，溫控電源 2 臺（溫控表顯示精度 0.1℃），溫度區(qū)間：室溫-500℃（控溫精度±1℃），配氣動擋板；

隔板

蒸發(fā)源相互獨立，隔板分隔，避免交叉污

3. 樣品臺系統(tǒng)

基片旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速 0～30 轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào)

基片升降

電動升降，襯底與蒸發(fā)源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續(xù)可調(diào)；

樣品臺

圓形托盤 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片

基片擋板

電動擋板

4. 真空泵機組

真空泵機組

1) 600L/s分子泵 1 臺；

2) 8L/s雙級泵 1 臺

3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺；

4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺；

5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺；

6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺；

7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺；

8) KF40 泵閥連接軟管 2 套，KF40 三通 1 套；
9) ZDF-5227 數(shù)顯真空計 1 臺（測量范圍：1×10⁵～1×10^-5Pa）。

5. 膜厚檢測系統(tǒng)

膜厚儀

三通道石英晶振膜厚監(jiān)測儀 1 套；

膜厚探頭

CF35 水冷膜厚探頭 3 套

6. 設(shè)備機架

1) 40 碳鋼方管焊接機架 1 套，表面噴塑；

2) 萬向輪 4 件，移動調(diào)整；

3) M16 地腳 4 件，鎖緊定位

7. 電控系統(tǒng)

金屬源蒸發(fā)源氣動擋板

2套

金屬蒸發(fā)源電源1kw

1套

有機源蒸發(fā)源氣動擋板

4套

有機蒸發(fā)源電源

2套（1帶2）

烘烤照明電源

1 臺

樣品臺電動擋板

1套

總控制電源

1套

PLC 控制

配觸摸屏

8.手套箱

腔體尺寸

L1200* W750* H900mm

手套

3只

大過渡艙

內(nèi)徑360mm, 長 600mm

小過渡艙

內(nèi)徑150mm, 長300mm

9. 其他技術(shù)參數(shù)

1) 缺相保護、誤操作保護，聯(lián)動互鎖以及一鍵真空啟停等功能；

2) 供電：～220V 兩相供電系統(tǒng)（峰值 3KW）；

3) 供水：小型冷水機，冷卻水溫度 5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃；

4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供 0.2-0.3MPa 氣壓，驅(qū)動氣動閥門；

5) 極限真空：優(yōu)于 6×10^-5Pa，大氣至 6×10^-4Pa 時間小于 35 分鐘（充干燥氮氣），關(guān)機

12 小時真空度≤10Pa。