這款等離子清洗機(jī)適合于實(shí)驗(yàn)室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源，能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配，能夠滿足用戶的多樣化需求。

10L等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉體	清洗倉材質(zhì)	高純石英
	清洗倉尺寸	直徑200mm;長度340mm
射 頻 電 源	電源特性	該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。
	電源優(yōu)勢	● 可長時間正常運(yùn)行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能
	射頻功率	0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào)
	信號頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機(jī)效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣 體 測 量	測量部件	浮子流量計(jì)
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真 空 獲 取	真空測量	數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機(jī)轉(zhuǎn)速	50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
	抽氣速率	50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	極限真空	0.5Pa
	電機(jī)噪音	≤56dB
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	電磁閥
	電機(jī)功率	400W
其 它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	550W/600W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	600mmX500mmX560mm
	整機(jī)重量	80kg（含包裝）

10L等離子清洗機(jī)應(yīng)用范圍：

金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產(chǎn)：用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫(yī)療：培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進(jìn)可焊性；
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理；
LED：支架清洗封裝前預(yù)處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

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