0371-5536 5392 0371-5519 9322
產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
多弧離子鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。本多弧離子鍍膜儀配有兩個多弧靶,和行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率。
詳情介紹:
多弧離子鍍膜儀 TN-MIOP500S-2TA本設(shè)備為多弧離子鍍膜設(shè)備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時,將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機結(jié)合起來,不僅能明顯地改進了膜質(zhì)量,而且還擴大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優(yōu)點。十分適合鍍硬質(zhì)保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結(jié)合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜
本設(shè)備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側(cè)。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果;該鍍膜儀還采用一體化設(shè)計,腔體和電控部分左右分置,實現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。
名稱 |
多弧離子鍍膜儀 |
型號 |
TN-MIOP500S-2TA |
特點 |
|
技術(shù)參數(shù) |
|
規(guī)格 |
電壓 AC380V,50Hz ;尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm;功率 5kW 整機重量 350kg |