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雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)
1.本產(chǎn)品主體結(jié)構(gòu)是雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐，爐管中部有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合，
2.通過機(jī)械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；
3.爐體在支架上能夠前后滑動，可以實現(xiàn)快速升降溫。
4.設(shè)備配有兩路浮子流量計，可用于向路管內(nèi)通入兩種氣體，
5.同時設(shè)備配有高性能機(jī)械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實現(xiàn)多種CVD工藝。
6.旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。
技術(shù)參數(shù)
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雙溫區(qū)管式爐 |
產(chǎn)品型號 |
TN-O1200-60IIT-R |
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設(shè)備功率 |
3KW |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管直徑 |
60mm |
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爐管長度 |
1600mm |
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爐膛長度 |
440mm |
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加熱區(qū)長 |
200mm+200mm |
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工作溫度 |
0～1150℃ |
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極限溫度 |
1200℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
高清全彩LCD觸控屏 |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
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供電電源 |
AC:110V 50/60Hz 2.5kW |
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滑軌長度 |
2030mm，可滑動范圍1500mm |
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旋轉(zhuǎn)速度 |
0~20rpm |
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2路浮子流量計 |
產(chǎn)品型號 |
CY-2F |
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氣路數(shù)量 |
2路 |
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流量計類型 |
浮子流量計 |
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測量范圍 |
A路：0~160mL/min; B路：0~100mL/min |
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測量精度 |
4% |
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管道耐壓 |
不銹鋼管，耐壓3MPa |
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流量計耐壓 |
1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 |
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管路接口 |
φ8mm快擰接口 |
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真空系統(tǒng) |
真空泵 |
雙極旋片泵 |
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抽速 |
1.1L/s |
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抽氣接口 |
KF16 |
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泵極限真空度 |
10E-1Pa |
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供電 |
AC110V 50/60Hz |
